该晶圆创造厂坐落西北各地,主要的生孩子8英尺半导体材料晶圆,单日电镀废水尾气排放口量约800吨。由生孩子全过程中便用非常多盐酸采取晶圆蚀刻,造成电镀废水里面的氟化物渗透压独角兽高达200-300mg/L,远超发展中国家尾气排放口规范标准(10mg/L以上)。
废渣材料及原因
污水核心产于三关键点:
晶圆蚀刻步骤
:含高酸度氟化物(HF)、盐酸及小量天价属
催化机器镜面抛光(CMP)废气
:含纳米级级硅粉末、有机质络合剂
生产设备的洗涤废水处理工艺
:含异丙醇、氟化物等有机酸物
外理生产工艺流量
选用"电学积淀+沥青混凝土积淀+纵深过滤软件系统"四级净化处理软件系统:
特一级补救
:添加氯化钙和氢被氧化钙,转变成氟化钙悠长岁月中,氟化物清除率达85%
两级补救
:调用PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),的还原胶体溶液态废弃物物
一级整理
:能够 多物料过滤清洁器和活性酶类炭离心分离,水流氟化物渗透压动态平衡在8mg/L下
的关键产品主要包括:pH手动调低机系统、斜管析出池、板框带式压滤机(工业废水脱水处理)。
后面效率
大型项目运作2年监测系统数据界面显示界面显示:
氟化物一般浓硫酸浓度:7.2mg/L(降到国家的条件)
COD清理率:92%
工业废水含水分率:≤65%
年收购 氟化钙副软件约150吨,保证物资化借助