郑州某光电器件基带芯片制作厂厂,晶圆激光加工阶段中制造含硅、氟的特殊的生活污水工作技术,设计工作市场规模1200吨/日。生活污水工作技术有效成分繁琐,有效纳米级级硅粒子及氢氧化钠,以往工作技术无从达到。
工业废水材料及来原
常见危害物
:溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
种类工作
:晶圆刻蚀工业工业废水(45%)、CMP化工机械装备cnc精密机械加工工业工业废水(40%)、机冲洗器水(15%)
进行处理技术步骤流程
改革创新适用"无机化学沉积+重型膜剥离 "技木路径:
钙盐放置
:污泥脱水氯化钙彻底清除氟亚铁离子(出现CaF2积淀)
斜管沉淀池现象
:黏结水解酸化池剂保证 胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜截流微细科粒
反渗透设备性和操作系统
:脱盐率>98%,再利用率75%
减压蒸馏成果
:浓水段满足氟化物无废气排放标准
终究功效
氟化物氨水浓度:<8mg/L(不超部委两级条件10mg/L)
硅分量:<5mg/L
水环境资源回收率:70%用来冷确塔补水保湿
危险废物回收利用:挥发碎渣量较传统意义艺可以减少60%